4月13日消息，近日東方晶源首臺8英寸關鍵尺寸量測裝備(CD-SEM)出機國內知名集成電路制造和整體方案提供商燕東微電子。自2021年6月首臺12英寸CD-SEM出機，時隔短短9個月，東方晶源在電子束量測領域再次取得重大進展，彰顯出深厚的技術實力、豐富的市場化經驗以及快速的研發(fā)能力。此次出機，將進一步夯實東方晶源在國內電子束檢測、量測市場的領先地位。

東方晶源首臺8英寸關鍵尺寸量測設備(型號：SEpA-c300)基于東方晶源12英寸關鍵尺寸量測設備的技術積累，面向90nm以上技術節(jié)點的成熟工藝。具有對標12英寸主流設備的成像分辨率、百微米級大視場成像能力、多樣化量測算法，可以滿足客戶對不同產品線、多種應用場景下的量測需求。進駐燕東微電子后，將通過實際產線驗證，進一步提升、完善設備性能，助力客戶提供更具競爭力的產品，提高服務能力。

近年來，受下游需求影響，8英寸晶圓代工廠產能持續(xù)緊缺。但由于12英寸已經逐漸成為了主流尺寸，半導體設備廠商也將業(yè)務重心向12英寸廠傾斜，設備短缺成為當下8英寸廠擴產的難點之一。以關鍵尺寸量測設備為例，目前市場上流通的8英寸設備絕大多數(shù)是二手翻新設備，具有性能指標不高及設備穩(wěn)定性差等問題。東方晶源洞悉到晶圓代工廠這一痛點，充分發(fā)揮在電子束檢測、量測領域的技術優(yōu)勢，積極響應，快速推出8英寸關鍵尺寸量測設備，成功解決產業(yè)又一難題，對推動我國半導體產業(yè)穩(wěn)定發(fā)展具有重大意義。

隨著半導體工藝節(jié)點不斷向前推進，電子束檢測的重要性愈加凸顯。東方晶源憑借先發(fā)優(yōu)勢以及強大的研發(fā)投入，在電子束檢測、量測領域積累了雄厚的技術實力，成績斐然。承擔國家02重大專項——電子束硅片圖形缺陷檢測設備研發(fā)與產業(yè)化項目并驗收通過;首臺套電子束缺陷檢測設備(EBI)已完成產線驗證并獲得重復訂單;加速推出多款關鍵尺寸量測設備并取得多個訂單。東方晶源在電子束檢測、量測領域不斷取得重要產品技術突破，填補多項國內相關領域空白。

目前，東方晶源已經和國內大部分有市場影響力的晶圓代工企業(yè)建立了合作關系，得到行業(yè)和客戶的高度認可。未來，東方晶源將繼續(xù)堅持以客戶為中心，不斷加強研發(fā)投入，擴大在國內電子束檢測、量測領域的領先優(yōu)勢。同時，與上下游企業(yè)攜手，共同推動我國半導體產業(yè)鏈實現(xiàn)全面自主可控，配合國家實現(xiàn)在半導體產業(yè)的戰(zhàn)略布局。

關鍵詞： 研發(fā)能力 提高服務能力 領先地位 重大意義